国度学问产权局信息泄漏，科磊股份有限公司肯求一项名为“在工件捕快时刻成像数千个电子束”的专利，公开号CN121399717A，肯求日历为2024年9月。

专利摘录泄漏，使用单个全局准直透镜下流的孔隙阵列从电子束产生小束。拓荒所述小束穿过在所述小束的旅途中在所述孔隙阵列下流的图像透镜阵列，使用所述图像透镜阵列将所述小束个别地聚焦到中间图像平面上。接着使用在所述图像透镜阵列下流的滚动透镜阵列将所述小束拓荒于载物台上的工件处。所述小束的旅途不包含交叉。

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