国度学问产权局信息显现，朗姆参议公司苦求一项名为“用于联系于硅选拔性蚀刻硅锗或硅氮化物的目田基物资的热生成”的专利，公开号CN121400119A，苦求日历为2024年6月。

专利纲领显现，一种用于联系于至少一种第二材料蚀刻至少一种第一材料的规律，包括将衬底建筑于科罚室中的衬底撑抓件上，以及供应载气、至少一种热蚀刻剂气体以及至少一种目田基生成气体至科罚室，以联系于至少一种第二材料蚀刻至少一种第一材料。也公开了其它示例规律和系统。

声明：市集有风险，投资需严慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不组成个东说念主投资提议。

本文源自：市集资讯